ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ РФ ПО ДЕЛАМ НАУКИ И ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ
РЯЗАНСКАЯ ГОСУДАРСТВЕННАЯ РАДИОТЕХНИЧЕСКАЯ АКАДЕМИЯ
Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ
РЕЖИМОВ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО
ПОЛИРОВАНИЯ МЕДИ
Пояснительная записка к курсовой работе по курсу
« Физико-химические основы микроэлектроники и технологии
радиоэлектронных средств »
Работу выполнил
студент гр.551 Гусев В.Н.
Руководитель работы
доцент Морозов Е.А.
Рязань 1996